上海工业特气管道安装工程

这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统特气管道工程施工注意事项：不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准。上海工业特气管道安装工程

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。盐城特气管道安装参考价在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。2.主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量。

特气管道安装：（1）根据图纸所示位置放线定位并弹线开孔（注意预留检修口）；将管子吊装至预定的安装位置后固定牢靠，并用垫板垫好管件防止滑动伤人。（一般采用膨胀螺栓固定）然后连接支吊架使管子与支吊架牢固连接起来；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺测量管子轴线与地面垂直度误差≤0.5mm/m2，如有偏差及时调整直至合格为止；（一般用钢卷尺检测）如遇特殊环境可用经纬仪或全站仪等测量仪器检测。（一般用全站仪检测）。同时应做好记录以便返工处理。（一般采用经纬仪检测。）夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。浙江特气管道安装市场价格

焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。上海工业特气管道安装工程

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。上海工业特气管道安装工程